Spiegazione della tecnologia di calibrazione della temperatura per il termometro del forno di ricottura ad alta temperatura

È stato segnalato che il forno di ricottura ad alta temperatura adotta un sistema di controllo a circuito chiuso composto da un regolatore di temperatura PLD digitale accelerato, termocoppia, pirometro e fonte di calore per controllare correttamente la temperatura. Grazie al controllo collaborativo delle lampade alogene in diverse regioni, la differenza di temperatura in ciascuna regione può essere compensata durante il processo di controllo della temperatura, mantenendo invariata la temperatura delle diverse regioni sul substrato. Grazie alla sua installazione sul fondo della cavità, il pirometro può ricevere radiazioni solo dalla parte posteriore del substrato e non può ricevere radiazioni dalla lampada. Pertanto, un pirometro può misurare accuratamente la temperatura del substrato. Il principio di calibrazione della temperatura di questo pirometro è il seguente:
1. Introduzione al pirometro:
Il pirometro presentato in questo articolo è un pirometro ottico a radiazione termica. Quando il pirometro riceve la radiazione infrarossa dall'oggetto misurato, il segnale ottico viene filtrato, convertito fotoelettrico e amplificato per diventare un segnale analogico, che viene poi trasmesso al modulo del circuito di interfaccia del segnale del sensore. Questo modulo esegue la conversione A/D sul segnale e lo converte in un segnale digitale che può essere riconosciuto dal computer. Il segnale digitale inviato al computer è denominato valore di feedback del pirometro nel testo seguente.
2. Tabella di calibrazione della temperatura:
Secondo le leggi pertinenti, la temperatura di un oggetto è correlata alla sua radiazione e all'emissività spettrale. Per i forni di ricottura ad alta temperatura, la quantità di radiazione ricevuta dal pirometro dipende principalmente da fattori quali materiale del substrato, drogaggio, strato di ossido naturale sulla superficie e temperatura del substrato. Per lo stesso tipo di substrato (ad esempio substrati con lo stesso materiale, drogaggio e strato di ossido naturale sulla superficie), la quantità di radiazione ricevuta dal pirometro è correlata alla temperatura del substrato. Pertanto, per lo stesso tipo di substrato, il valore di feedback del pirometro corrisponde uno a uno alla temperatura del substrato. Questa corrispondenza costituisce dati di calibrazione della temperatura e una tabella di calibrazione della temperatura viene utilizzata per memorizzare i dati di relazione tra più temperature del substrato e valori di feedback da un pirometro. Temperature diverse corrispondono a diversi valori di feedback del pirometro. Il computer del forno di ricottura ad alta temperatura può calcolare la temperatura effettiva del substrato in base al feedback del valore del segnale dal pirometro e alla tabella di calibrazione della temperatura.