Un approccio innovativo al rivestimento ionico su macchine sottovuoto
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Un approccio innovativo al rivestimento ionico su macchine sottovuoto
L'innovativo metodo di rivestimento ionico multi-arco delle apparecchiature di rivestimento sottovuoto, il cosiddetto rivestimento ionico multi-arco, consiste nel posizionare il materiale da placcare e il substrato da placcare nella stanza. E volare sputtering sulla superficie del substrato placcato per condensare e formare un film.
Il metodo del rivestimento ionico multi-arco presenta molti vantaggi nella formazione del film in condizioni che possono ridurre la collisione tra atomi e molecole del materiale di evaporazione nel processo di volo verso il substrato e ridurre la reazione chimica tra le molecole attive nel gas e il materiale sorgente di evaporazione (come l'ossidazione, ecc.) e ridurre la quantità di molecole di gas che entrano nel film per diventare impurità durante il processo di formazione del film, migliorando così la densità, la purezza, il tasso di deposizione e l'adesione dello strato del film a il substrato.
Il processo di rilevamento delle perdite di vuoto della macchina di rivestimento sottovuoto
Innanzitutto, è necessario confermare se la perdita è una perdita virtuale o una perdita reale, perché il materiale del pezzo genererà gas a vari livelli dopo il riscaldamento, che può essere scambiato per il gas che entra dall'esterno, che è una perdita virtuale , e questa situazione deve essere esclusa. .
In secondo luogo, testare la tenuta del gas della camera a vuoto per garantire che la tenuta del gas soddisfi i requisiti.
Terzo, controlla la dimensione, la forma, la posizione e la velocità della perdita, prepara una soluzione e implementala.
In quarto luogo, determinare il tasso di perdita minimo rilevabile e la sensibilità di rilevamento delle perdite dello strumento di rilevamento, rilevare perdite d'aria nella gamma più ampia, evitare che alcune perdite vengano ignorate e migliorare l'accuratezza del rilevamento delle perdite.
In quinto luogo, afferrare il tempo di risposta e il tempo di eliminazione dello strumento di rilevamento delle perdite, padroneggiare bene il tempo e assicurarsi che lo strumento di rilevamento delle perdite funzioni in posizione. Se il tempo è breve, l'effetto di rilevamento delle perdite sarà sicuramente scarso. Se il tempo è lungo, i costi del gas di rilevamento perdite e della manodopera elettrica andranno sprecati.
In sesto luogo, è anche necessario evitare il blocco del foro di perdita. A volte, a causa di errori operativi, polvere o liquidi bloccano il foro di perdita durante il processo di rilevamento perdite, pensando che non ci siano fori di perdita in questa posizione, ma quando questi blocchi sono dovuti alla differenza di pressione interna ed esterna. Per altri motivi, la perdita non è bloccata e la perdita esiste ancora.
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