Utilizzare i passaggi della macchina di rivestimento sottovuoto

Utilizzare i passaggi della macchina di rivestimento sottovuoto

1. Accendere la pompa dell'acqua e la fonte d'aria.

2. Accendere l'alimentazione principale.

3. Accendere l'alimentazione della pompa di manutenzione e del vacuometro e la posizione del vacuometro è V1, attendere che il valore sia inferiore a 10, quindi andare al passaggio successivo. Ci vogliono circa 5 minuti.

4. Accendere la pompa meccanica, la pre-pompa, accendere la pompa turbomolecolare e avviarla. Cambiare l'interruttore del vacuometro in posizione V2 e ci vorranno circa 20 minuti prima che la pompa sia inferiore a 2.

5. Dopo che la lettura della pompa turbomolecolare raggiunge 250, spegnere il pre-pompaggio, aprire la pompa anteriore e la valvola del vuoto spinto e continuare ad evacuare. Dopo che l'evacuazione raggiunge un certo livello, l'indicatore di alto vuoto sulla destra può essere aperto per osservare il grado di vuoto. Il cannone elettronico non può essere acceso finché il vuoto non raggiunge 2×10-3.

Quello che deve essere rivestito è chiamato substrato e il materiale da rivestire è chiamato target. Il substrato e il bersaglio si trovano nella stessa camera a vuoto.

Il rivestimento evaporativo generalmente riscalda il bersaglio per far evaporare i componenti superficiali sotto forma di radicali o ioni. Ed è depositato sulla superficie del substrato per formare un film sottile attraverso un processo di formazione del film (crescita a strati di struttura a isola sparsa-struttura vagale). Per rivestimento sputtering, può essere semplicemente inteso come il bombardamento del bersaglio con elettroni o laser ad alta energia, e lo sputtering dei componenti superficiali sotto forma di gruppi atomici o ioni, e infine il deposito sulla superficie del substrato, attraversando il film- processo di formatura, e infine formando un film sottile.

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