La più ampia gamma di sorgenti ioniche per sorgenti ioniche Hall argentate sotto vuoto
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La più ampia gamma di sorgenti ioniche per sorgenti ioniche Hall argentate sotto vuoto
La sorgente ionica Hall è probabilmente la sorgente ionica più utilizzata. Sorgenti ioniche avanzate come le sorgenti ioniche Mark I e Mark II di Veece. Adatto per la maggior parte delle sorgenti ioniche come quelle domestiche.
Se il titanio è placcato con una decorazione resistente all'usura, lo spessore del titanio è ampio e la forza di legame con il corpo deve essere forte e i requisiti di uniformità non sono elevati. Sorgente ionica Hall disponibile. La corrente ionica è elevata e anche il livello di energia ionica è elevato. Se è rivestito con titanio ottico, il livello di energia della corrente ionica deve principalmente essere concentrato e l'uniformità della corrente ionica è buona. Pertanto, è meglio utilizzare la sorgente ionica Kaufman o RF e, se le condizioni lo consentono, è possibile utilizzare la sorgente ionica ECR (ciclotrone elettronico) o ICP (accoppiamento induttivo). Inoltre, dovrebbero essere considerati anche i materiali di consumo, come la sorgente Hall di filo di tungsteno, che si brucerà dopo dieci ore nel gas di reazione. Le sorgenti ioniche avanzate come le sorgenti ioniche ICP possono funzionare continuamente nel gas reattivo per centinaia di ore.
Le caratteristiche della sorgente di ioni d'argento sotto vuoto sono:
1 Usato brevemente.
2. La corrente ionica è quasi proporzionale al flusso di gas ed è possibile ottenere una corrente ionica maggiore.
3. Il filo di tungsteno generalmente si trova a cavallo dell'uscita e l'impatto del fascio ionico si corroderà rapidamente, soprattutto per il gas di reazione, che generalmente deve essere sostituito entro dieci ore. E il filo di tungsteno avrà un certo inquinamento. Per far fronte alle carenze del filo di tungsteno. Alcuni utilizzano neutralizzatori a lunga durata, come una piccola sorgente a catodo cavo.
Sorgente ionica Hall sottovuoto placcata in argento
Una sorgente ionica Hall è un anodo che plasmonizza il gas di processo in cooperazione con un forte campo magnetico assiale. Il forte squilibrio di questo campo magnetico assiale separa gli ioni del gas e forma il fascio ionico. Poiché l'effetto del campo magnetico assiale è troppo forte, il fascio ionico della sorgente ionica Hall richiede elettroni di compensazione per neutralizzare il flusso ionico. Una fonte comune di neutralizzazione è il filamento di tungsteno (catodo).
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