Pulizia delle parti in grafite del forno monocristallino

Pulizia delle parti in grafite del forno monocristallino

1) Le parti in grafite devono essere pulite nella stanza di pulizia designata e devono essere preparati i materiali per la pulizia (spazzola per l'aspirazione, tovagliolo di carta, tubo dell'aspiratore, panno abrasivo, strumenti esclusivi per la rimozione delle particelle di silicio, carrello pulito per le parti in grafite, ecc.). , e devono essere indossati guanti, maschere antipolvere. Pulire il tavolo di pulizia e l'ambiente circostante.

2) Pulire alternativamente tutti i tipi di parti in grafite con una spazzola aspirante fino a quando non viene confermato che non c'è sporco. Le parti che assorbono sostanze più volatili come scanalature e interfacce vanno lucidate accuratamente con tela abrasiva e poi aspirate e pulite.

3) Durante la pulizia, prestare attenzione a controllare se le parti in grafite sono danneggiate e il silicone appiccica. Il silicone danneggiato e appiccicoso deve essere sostituito e smaltito in tempo.

4) Maneggiare con cura per evitare danni alle parti in grafite durante il funzionamento.

5) Posizionare le parti in grafite pulite sul carrello in acciaio inossidabile pulito preparato in precedenza. Non sovrapporre e spostare il carrello in acciaio inox in modo costante.

6) Dopo la pulizia, riporre la spazzatura nell'apposito luogo di raccolta e pulire il tavolo per la pulizia e l'ambiente circostante.

Ispezione e sostituzione dell'olio della pompa per vuoto del forno monocristallino

UN. Assicurarsi di chiudere la valvola a sfera della pompa principale e della pompa a vuoto, appendere la scheda di manutenzione al forno monocristallino di scarico dell'olio, posizionare il barile dell'olio esausto sotto la porta di scarico della pompa a vuoto, accendere l'interruttore di scarico dell'olio della camere superiore e inferiore e chiudere le valvole di scarico dell'olio delle camere superiore e inferiore dopo aver scaricato l'olio. , Versare l'olio esausto negli appositi fusti.

B. Pulire la pompa del vuoto (una volta ogni 5 forni), utilizzare una chiave per aprire il coperchio laterale della pompa del vuoto, posizionarla in una posizione appropriata e utilizzare un asciugamano per pulire a fondo la cavità della pompa del vuoto, il coperchio laterale e il filtro dell'olio nel cavità inferiore. Dopo la pulizia, installare il filtro. , Installare il coperchio laterale. Fare attenzione quando si apre e si installa il coperchio laterale per evitare danni al coperchio laterale e al paraolio e perdite di olio. È vietato lasciare frammenti di carta o altri oggetti estranei nella cavità della pompa, altrimenti si bloccherà il circuito dell'olio e si otterrà un inceppamento della pompa del vuoto. I rifiuti derivanti dalla pulizia della pompa a vuoto vengono gettati nell'apposito bidone dei rifiuti.

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