Caratteristiche di progettazione del dispositivo chip di confronto multi-chip della macchina di rivestimento sottovuoto

Caratteristiche di progettazione del dispositivo chip di confronto multi-chip della macchina di rivestimento sottovuoto

1) La forma cilindrica del cilindro fisso, il design del grande diametro, la struttura a pareti spesse e il metodo di fissaggio circonferenzialmente simmetrico possono garantire che abbia resistenza e rigidità sufficienti e, allo stesso tempo, possono anche impedire l'elevata temperatura sputtering abrasivo da contaminare le sue parti interne, Garantire la flessibilità della rotazione quadrante.

2) Il design della sede del cuscinetto circolare garantisce la tenuta e la verticalità dell'installazione della sede del cuscinetto; aumentare il diametro dell'albero, aumentare la distanza di installazione tra i due cuscinetti nella sede del cuscinetto, migliorare la propria resistenza e rigidità e garantire il processo di rotazione. La rigidità dell'asse 1 e la flessibilità rotazionale del quadrante, la coerenza della ripetibilità della posizione.

3) Caricando il meccanismo di trasposizione, espandendo il diametro della piastra di supporto, viene aumentata l'area effettiva del meccanismo nella direzione del piano e può essere installato un film comparativo di grande diametro (Φ26,5 mm), che favorisce la regolazione del percorso ottico e migliora la qualità del film ottico; Un singolo pezzo di vetro viene utilizzato come unità di confronto e il pezzo di confronto viene installato in uno spazio tridimensionale. Più pezzi di vetro vengono sovrapposti e installati in un cilindro di stoccaggio dei pezzi di confronto, in modo da poter posizionare contemporaneamente da 50 a 100 pezzi di pezzi di confronto, il che risolve il problema dell'eccessivo rivestimento da parte della macchina di rivestimento. Il numero di strati di pellicole ottiche di precisione è relativamente piccolo, il che influisce sul numero di strati di rivestimento e sulla precisione.

4) La cooperazione della piastra di posizionamento e dell'accoppiamento ottico a fessura, attraverso l'accoppiamento ottico a forma di fessura, vengono rilevate le tre fessure a 120 gradi equamente divise sulla piastra di posizionamento e la rotazione del motore viene controllata per arrestarsi. La coerenza della rotazione e del posizionamento dell'asse 1 è garantita e il quadrante viene azionato per completare l'accurata azione di presa.

5) Il meccanismo di tenuta Wilson viene introdotto nel meccanismo di alimentazione della tenuta rotante, che non solo assicura la rotazione flessibile dell'albero azionato dal motore attraverso l'ingranaggio degli ingranaggi, ma assicura anche l'effetto di tenuta della camera del vuoto all'esterno. Il design ottimizzato del dispositivo di confronto multi-chip della macchina di rivestimento sottovuoto presenta le seguenti caratteristiche: (1) struttura semplice, elevata resistenza e buona affidabilità; (2) Il numero di chip di confronto è elevato, l'efficienza produttiva è migliorata e l'ottica di precisione ultra-multistrato può essere rivestita (3) Il diametro del film comparativo è aumentato, la precisione del monitoraggio del film è migliorata, il i requisiti per il sistema hardware sono ridotti e il sistema è facile da realizzare controllo automatico;

L'uniformità della composizione chimica della macchina di rivestimento sottovuoto:

vale a dire, nel film, la composizione atomica del composto avrà facilmente caratteristiche non uniformi perché lo standard è troppo piccolo. Se la pellicola di SiTiO3 non è scientifica, allora la composizione effettiva della superficie sarà La frazione non è SiTiO3, ma potrebbero esserci altre frazioni. Il film rivestito non è la composizione chimica del film desiderato, che è anche il contenuto tecnico del rivestimento sottovuoto.

L'uniformità dello spessore della spalmatrice sottovuoto: può essere intesa anche come rugosità. In termini di standard delle pellicole ottiche (ovvero 1/10 di lunghezza d'onda come unità, circa 100 A), l'uniformità della macchina di rivestimento sottovuoto è ora abbastanza buona. La rugosità può essere facilmente manipolata nell'intervallo di 1/10 della lunghezza d'onda della luce visibile, il che significa che il rivestimento sottovuoto non ostacola alcuna proprietà ottica del film.

L'uniformità dell'ordine reticolare della macchina di rivestimento sottovuoto:

Questo determina se il film è monocristallino, policristallino o amorfo, che è un tema caldo nella tecnologia di rivestimento sottovuoto.

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